Úvod do procesu přípravy cílů zirkonia

Apr 01, 2025

Zanechat vzkaz

Příprava a zpracovánícíle zirkoniaZahrnujte více kroků, včetně přípravy surovin, přípravy cílových polotovarů, zpracování do cílových materiálů a ošetření před rozprašováním magnetronu. Specifický proces je následující:

Příprava suroviny: Jako suroviny použijte čistý zirkonium nebo prášek z zirkonia a čistota je obvykle vyžadována větší nebo rovná 99,9%. Pokud se používá prášek z slitiny, musí být podle navrženého podílu rovnoměrně smíchány různé proporce prášku zirkonu a slitiny.
Stisknutím: Smíšený prášek je tlačen do polotovaru lisovým strojem. Mezi běžně používané metody formování patří studené izostatické lisování (CIP) a horké izostatické lisování (HIP). Studené izostatické lisování je vhodné pro lisování s nízkou teplotou a je vhodné pro přímé lisování prášku; Horké isostatické lisování je vhodné pro vysokoteplotní lisování, které může dále eliminovat póry a nečistoty v prášku a zlepšit hustotu.
Slinování: lisované polotovarné polotovary je slinnováno při vysoké teplotě, obvykle horkým izostatickým lisováním (HIP). Sínovací teplota a čas je třeba upravit podle specifických požadavků na materiál a proces, obvykle nad 1500 stupňů. Během procesu slinování je nutné kontrolovat atmosféru, aby se zabránilo oxidaci a kontaminaci.
Dokončení: Sintered Blank je zpracován do požadovaného cílového tvaru, jako je disk, metodami mechanického zpracování, jako je otáčení, frézování a broušení. Použijte vysoce přesné zařízení na zpracování, abyste zajistili rozměrovou přesnost a kvalitu povrchu cíle.
Ošetření povrchu: Zpracovaný cíl je podroben úpravě povrchu, jako je leštění nebo chemické leštění, aby se zlepšil povrchovou úpravu a uniformitu. K odstranění nečistot a oxidů na povrchu se používají ultrazvukové čištění a chemické čištění.
Inspekce kvality: Připravený cíl zirkonia je podroben kontrole kvality, včetně přesnosti rozměru, drsnosti povrchu, chemického složení, hustoty atd. Používejte rentgenovou difrakci (XRD), skenovací elektronový mikroskop (SEM) a další zařízení.

Zirkonium cílové podrobnosti o produktu Obrázek zobrazení

Pure zr metal sputtering target supplier
Cíl zirkonia
zr sputtering target company
Zirkonium Target Metal