Co je kovový terč?

Co je kovový terč?

Terčový materiál je jedním z hlavních materiálů pro přípravu tenkých vrstev. Používá se především v integrovaných obvodech, plochých displejích, solárních článcích, záznamových médiích, inteligentních sklech atd. a má vysoké požadavky na čistotu a stabilitu materiálu.

Princip činnosti materiálu terče naprašování: Naprašování je jednou z hlavních technologií přípravy tenkovrstvých materiálů. Využívá ionty generované iontovým zdrojem k urychlení a shromažďování ve vakuu k vytvoření vysokorychlostního energetického iontového paprsku, který bombarduje pevný povrch. Ionty a atomy na pevném povrchu si vyměňují kinetickou energii, což způsobuje, že atomy na pevném povrchu opouštějí pevnou látku a ukládají se na povrchu substrátu. Ostřelovaná pevná látka je materiál rozprašovací elektrody.

Trendem vývoje terčových materiálů je: vysoká rychlost naprašování, kontrola orientace zrn, velké rozměry a vysoká-čistota kovu.

Materiál terče je svařen "target blank" a "back plate".

(1) Cílový polotovar je materiál cíle ostřelovaný vysokorychlostním iontovým paprskem. Je to hlavní část materiálu rozprašovací elektrody a zahrnuje řízení orientace kovu a zrn vysoké-čistoty. Během procesu naprašování, poté, co je cílový polotovar zasažen ionty, jsou jeho povrchové atomy rozprášeny a rozptýleny a naneseny na substrát za vzniku elektronického tenkého filmu.

(2) Zadní deska hraje hlavní roli při upevnění naprašovacího terče, což zahrnuje procesy svařování. Vzhledem k tomu, že kovy s vysokou-čistotou mají nízkou pevnost, je třeba k dokončení procesu naprašování nainstalovat naprašovací terč do vyhrazeného stroje. Stroj je v prostředí s vysokým-napětím a vysokým-vakuem. Proto musí být polotovar naprašovací terče z ultra-vysoce-kovu s vysokou čistotou připojen k zadní desce pomocí různých svařovacích procesů. Zadní deska musí mít dobrou elektrickou a tepelnou vodivost.