Výhody výkonu:
Cíl zirkoniamá vysokou stabilitu a může udržovat stabilní výkon v prostředí s vysokou teplotou a vysokou vlhkostí.
Má také vysokou odolnost proti opotřebení a vydrží vydržení vysoce energetických iontových paprsků a procesů odpařování elektronového paprsku.
Displej s vysokou čistotou zirkonia cíl
(3N) 99,9% Target z zirkonia kovového rozprašování
(2N5) 99,5% Target z zirkonia kovu